Εισαγωγή στα χαρακτηριστικά απόδοσης του ηλεκτρονικού μικροσκοπίου σάρωσης
Υπάρχουν διάφοροι τύποι ηλεκτρονικών μικροσκοπίων σάρωσης και διαφορετικοί τύποι ηλεκτρονικών μικροσκοπίων σάρωσης έχουν διαφορετικές επιδόσεις. Ανάλογα με τον τύπο του όπλου ηλεκτρονίων, μπορεί να χωριστεί σε τρεις τύπους: πιστόλι ηλεκτρονίων εκπομπής πεδίου, πιστόλι από σύρμα βολφραμίου και εξαβορίδιο λανθανίου [5]. Μεταξύ αυτών, η ηλεκτρονική μικροσκοπία σάρωσης εκπομπής πεδίου μπορεί να χωριστεί σε ηλεκτρονική μικροσκοπία σάρωσης εκπομπής πεδίου ψυχρού και ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης εκπομπής θερμικού πεδίου σύμφωνα με την απόδοση της πηγής φωτός. Το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης εκπομπής ψυχρού πεδίου απαιτεί συνθήκες υψηλού κενού, το ρεύμα δέσμης είναι ασταθές, ο πομπός έχει μικρή διάρκεια ζωής και το άκρο της βελόνας πρέπει να καθαρίζεται τακτικά, το οποίο περιορίζεται σε μία μόνο παρατήρηση εικόνας και το εύρος εφαρμογής είναι περιορισμένος; ενώ το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης εκπομπής θερμικού πεδίου δεν είναι μόνο συνεχές, μπορεί να λειτουργήσει για μεγάλο χρονικό διάστημα και μπορεί επίσης να συνδυαστεί με μια ποικιλία αξεσουάρ για την επίτευξη ολοκληρωμένης ανάλυσης. Στον τομέα της γεωλογίας, δεν χρειάζεται μόνο να παρατηρήσουμε την προκαταρκτική μορφολογία του δείγματος, αλλά πρέπει επίσης να αναλύσουμε άλλες ιδιότητες του δείγματος σε συνδυασμό με τον αναλυτή, έτσι ώστε το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης εκπομπής θερμικού πεδίου να χρησιμοποιείται ευρύτερα.
Το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης (SEM) είναι ένα μεγάλο όργανο ακριβείας για ανάλυση μορφολογίας μικροπεριοχών υψηλής ανάλυσης. Έχει τα χαρακτηριστικά μεγάλου βάθους πεδίου, υψηλής ανάλυσης, διαισθητικής απεικόνισης, ισχυρού στερεοσκοπικού εφέ, μεγάλου εύρους μεγέθυνσης και το προς δοκιμή δείγμα μπορεί να περιστραφεί και να γείρει σε τρισδιάστατο χώρο. Επιπλέον, έχει τα πλεονεκτήματα μιας μεγάλης ποικιλίας μετρήσιμων δειγμάτων, σχεδόν καμία ζημιά και μόλυνση του αρχικού δείγματος και ταυτόχρονη απόκτηση μορφολογίας, δομής, σύνθεσης και κρυσταλλογραφικών πληροφοριών. Επί του παρόντος, η ηλεκτρονική μικροσκοπία σάρωσης έχει χρησιμοποιηθεί ευρέως στη μικροσκοπική έρευνα στους τομείς της βιοεπιστήμης, της φυσικής, της χημείας, της δικαιοσύνης, της επιστήμης της γης, της επιστήμης των υλικών και της βιομηχανικής παραγωγής. , Ιζηματολογία, Γεωχημεία, Γεμολογία, Μικροπαλαιοντολογία, Αστρογεωλογία, Γεωλογία Πετρελαίου και Αερίου, Μηχανική Γεωλογία και Δομική Γεωλογία κ.λπ.
Αν και το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης είναι ένα ανερχόμενο αστέρι στην οικογένεια των μικροσκοπίων, λόγω των πολλών πλεονεκτημάτων του, η ταχύτητα ανάπτυξης είναι πολύ γρήγορη.
1. Η ανάλυση του οργάνου είναι σχετικά υψηλή και οι λεπτομέρειες περίπου 6 nm στην επιφάνεια του δείγματος μπορούν να παρατηρηθούν μέσω της δευτερεύουσας εικόνας ηλεκτρονίων, η οποία μπορεί να βελτιωθεί περαιτέρω στα 3 nm χρησιμοποιώντας ένα πιστόλι ηλεκτρονίων LaB6.
2 Η μεγέθυνση του οργάνου έχει μεγάλο εύρος και μπορεί να ρυθμιστεί συνεχώς. Επομένως, μπορούν να επιλεγούν διαφορετικά οπτικά πεδία για παρατήρηση ανάλογα με τις ανάγκες, και ταυτόχρονα, καθαρές εικόνες με υψηλή φωτεινότητα, που είναι δύσκολο να επιτευχθούν με γενικά ηλεκτρονικά μικροσκόπια μετάδοσης, μπορούν επίσης να ληφθούν υπό υψηλή μεγέθυνση.
3 Η παρατήρηση του δείγματος έχει μεγάλο βάθος πεδίου, μεγάλο οπτικό πεδίο και η εικόνα είναι γεμάτη τρισδιάστατη. Μπορεί να παρατηρήσει άμεσα την τραχιά επιφάνεια με τους μεγάλους κυματισμούς και την ανομοιόμορφη εικόνα μεταλλικού κατάγματος του δείγματος, που κάνει τους ανθρώπους να αισθάνονται σαν να βρίσκονται στον μικροσκοπικό κόσμο.
4. Η προετοιμασία του δείγματος είναι απλή. Εφόσον το δείγμα μπλοκ ή σκόνης είναι ελαφρώς επεξεργασμένο ή δεν έχει υποστεί επεξεργασία, μπορεί να τοποθετηθεί απευθείας στο ηλεκτρονικό μικροσκόπιο σάρωσης για παρατήρηση, έτσι ώστε να είναι πιο κοντά στη φυσική κατάσταση του υλικού.
5 Μπορεί να ελέγξει και να βελτιώσει αποτελεσματικά την ποιότητα της εικόνας μέσω ηλεκτρονικών μεθόδων, όπως η αυτόματη διατήρηση της φωτεινότητας και της αντίθεσης, η διόρθωση γωνίας κλίσης δείγματος, η περιστροφή της εικόνας ή η βελτίωση της ανοχής της αντίθεσης εικόνας μέσω της διαμόρφωσης Υ και η φωτεινότητα και το σκοτάδι διαφόρων τμημάτων της εικόνας Μέτρια. Χρησιμοποιώντας μια συσκευή διπλής μεγέθυνσης ή έναν επιλογέα εικόνας, μπορείτε να παρατηρήσετε εικόνες με διαφορετικές μεγεθύνσεις στην οθόνη φθορισμού ταυτόχρονα.
6 για ολοκληρωμένη ανάλυση. Εγκαταστήστε ένα φασματόμετρο ακτίνων Χ διασποράς μήκους κύματος (WDX) ή ένα φασματόμετρο ακτίνων Χ διασποράς ενέργειας (EDX), έτσι ώστε να έχει τη λειτουργία ενός ανιχνευτή ηλεκτρονίων και να μπορεί επίσης να ανιχνεύει ανακλώμενα ηλεκτρόνια, ακτίνες Χ, καθοδοφθορισμό, μεταδιδόμενα ηλεκτρόνια, ηλεκτρονικά Auger κ.λπ. Η επέκταση της εφαρμογής της ηλεκτρονικής μικροσκοπίας σάρωσης σε διάφορες μεθόδους ανάλυσης μικροσκοπικών και μικροπεριοχών δείχνει την ευελιξία της ηλεκτρονικής μικροσκοπίας σάρωσης. Επιπλέον, μπορεί επίσης να αναλύσει την προαιρετική μικροπεριοχή του δείγματος ενώ παρατηρεί την τοπογραφική εικόνα. εγκαταστήστε το εξάρτημα υποδοχής δείγματος ημιαγωγού και παρατηρήστε απευθείας τη σύνδεση PN και τα μικροσκοπικά ελαττώματα στο τρανζίστορ ή στο ολοκληρωμένο κύκλωμα μέσω του ενισχυτή εικόνας ηλεκτροκινητικής δύναμης. Δεδομένου ότι πολλοί ηλεκτρονικοί ανιχνευτές μικροσκοπίου σάρωσης έχουν πραγματοποιήσει ηλεκτρονικό υπολογιστή αυτόματο και ημιαυτόματο έλεγχο, η ταχύτητα της ποσοτικής ανάλυσης έχει βελτιωθεί σημαντικά.
