Σύστημα απεικόνισης ηλεκτρονικού μικροσκοπίου
1. Αντικειμενικός φακός και στιγματιστής
Ο αντικειμενικός φακός είναι ο πρώτος φακός απεικόνισης του συστήματος απεικόνισης. Η απόδοση ενός ηλεκτρονικού μικροσκοπίου καθορίζεται κυρίως από τα οπτικά χαρακτηριστικά του αντικειμενικού φακού. Τυχόν ατέλειες στον αντικειμενικό φακό θα μεγεθύνονται περαιτέρω από άλλους φακούς στο σύστημα απεικόνισης. Ως εκ τούτου, η εκτροπή του αντικειμενικού φακού απαιτείται να είναι όσο το δυνατόν μικρότερη και η μεγέθυνση είναι αρκετά υψηλή, ενώ ο αντικειμενικός φακός με ισχυρή διέγερση, μικρή εστιακή απόσταση (1.5-3mm) και διάφραγμα αντικειμενικού φακού είναι συνήθως συνήθως. χρησιμοποιείται για τη μείωση της σφαιρικής εκτροπής. Επειδή το οπτικό άνοιγμα είναι πολύ μικρό, η ανάλυση του αντικειμενικού φακού θα μειωθεί λόγω του φαινομένου περίθλασης και η παρεμβολή της δέσμης ηλεκτρονίων θα είναι ισχυρή λόγω της επίδρασης ρύπανσης του οπτικού άκρου, επομένως το οπτικό άνοιγμα δεν μπορεί να είναι πολύ μικρό .
Ο στιγματιστής είναι ένα σημαντικό μέρος για τη διασφάλιση της βελτίωσης της ανάλυσης του αντικειμενικού φακού. Χρησιμοποιεί μαγνητικό πεδίο με ρυθμιζόμενη ισχύ και προσανατολισμό για τη διόρθωση του αξονικού αστιγματισμού που προκαλείται από τον μη αξονικό αντικειμενικό φακό.
Ο ευρέως χρησιμοποιούμενος ηλεκτρομαγνητικός στιγματιστής αποτελείται από δύο ομάδες τεσσάρων ζευγών ηλεκτρομαγνητών που είναι ομοιόμορφα εγκατεστημένοι γύρω από το κενό μεταξύ των κομματιών του πόλου. Τα δύο ελλειπτικά διορθωτικά μαγνητικά πεδία που σχηματίζονται είναι κάθετα μεταξύ τους και αλλάζοντας την ένταση διέγερσης και την κατεύθυνση του μαγνητικού πεδίου των δύο συνόλων ηλεκτρομαγνητικών μπορεί να σχηματιστεί ένα μη περιστροφικά συμμετρικό διορθωτικό μαγνητικό πεδίο. Εάν η δύναμή του είναι ίση με το πεδίο αστιγματισμού του φακού και οι κατευθύνσεις είναι κάθετες μεταξύ τους, μπορεί να εξαλείψει τον αστιγματισμό.
2. Ενδιάμεσος καθρέφτης και καθρέφτης προβολής
Ο ενδιάμεσος καθρέφτης είναι ένας αδύναμος μαγνητικός φακός με μεγάλη εστιακή απόσταση και μεταβλητή μεγέθυνση. Η εσωτερική οπή του στύλου είναι μεγαλύτερη και η μεγέθυνση είναι μεταξύ 0-20. Όταν η μεγέθυνση είναι μεγαλύτερη από 1, χρησιμοποιείται για τη μεγέθυνση του αντικειμενικού καθρέφτη. όταν η μεγέθυνση είναι μικρότερη από 1, χρησιμοποιείται για τη μείωση του αντικειμενικού καθρέφτη.
Ο καθρέφτης προβολής είναι ένας ισχυρός μαγνητικός φακός μικρής εστιακής απόστασης, ο οποίος χρησιμοποιεί συμμετρικά παπούτσια μικρού διαφράγματος πάνω-κάτω - για να αποκτήσετε μεγάλη μεγέθυνση. Ο καθρέφτης προβολής έχει ένα συγκεκριμένο ρεύμα διέγερσης, το οποίο παίζει το ρόλο της μεγέθυνσης της μεσαίας εικόνας και της προβολής της στην οθόνη φθορισμού.
3. Ενίσχυση τριών σταδίων
Η υψηλότερη μεγέθυνση ενός ηλεκτρονικού μικροσκοπίου καθορίζεται από παράγοντες όπως η απόδοση του οργάνου, η ανάλυση της φωτογραφικής πλάκας βάσης (ή η φθορίζουσα οθόνη) κ.λπ. Σε γενικές γραμμές, το δευτερεύον σύστημα απεικόνισης μεγέθυνσης μπορεί να αποκτήσει μια ηλεκτρονική εικόνα μεγεθυμένη 200,000 φορές. Ο αντικειμενικός φακός μεγεθύνει τις λεπτομέρειες του δείγματος κατά 100 φορές και σχηματίζει την εικόνα στον αντικειμενικό καθρέφτη, ενώ ο ενδιάμεσος καθρέφτης μεγεθύνει την εικόνα του αντικειμενικού φακού κατά 20 φορές και την απεικονίζει στον καθρέφτη προβολής. ο καθρέφτης προβολής μεγεθύνει την εικόνα του ενδιάμεσου καθρέφτη κατά 100 φορές και σχηματίζει την εικόνα στη φθορίζουσα οθόνη. Η ρύθμιση του αριθμού των ενισχυμένων μοναχών μπορεί να πραγματοποιηθεί αλλάζοντας το ρεύμα διέγερσης του μεσαίου ενθέτου. Αφού αλλάξει το ρεύμα διέγερσης της μέσης πόλης, το ρεύμα διέγερσης του αντικειμενικού φακού θα πρέπει επίσης να αλλάξει κατάλληλα για να διασφαλιστεί ότι το επίπεδο καθρέφτη του αντικειμενικού φακού αναμιγνύεται με τη μεσαία επιφάνεια στήριξης, έτσι ώστε να λαμβάνεται μια καθαρή εικόνα του επίκεντρο.
Στο σύστημα απεικόνισης τριών σταδίων, εάν αλλάξει το ρεύμα διέγερσης του αντικειμένου, η εικόνα του αντικειμενικού φακού μπορεί να γίνει κάτω από τη μεσαία βάση.
Ο αντικειμενικός καθρέφτης είναι ένα «εικονικό αντικείμενο», το οποίο διαμορφώνεται σε μια μικρή πραγματική εικόνα στην επιφάνεια του αντικειμένου Α του καθρέφτη προβολής. Ο καθρέφτης προβολής απεικονίζεται στη φθορίζουσα οθόνη, έτσι ώστε να μπορεί να ληφθεί μια ηλεκτρονική εικόνα που μεγεθύνεται από χιλιάδες έως δεκάδες χιλιάδες φορές. Η παραμόρφωση της εικόνας που δημιουργείται με αυτή τη μέθοδο μπορεί να μειωθεί με την αμοιβαία αντιστάθμιση της παραμόρφωσης της κάννης του ενδιάμεσου καθρέφτη και της παραμόρφωσης του μαξιλαριού του καθρέφτη προβολής.
Εάν ο αντικειμενικός φακός είναι κλειστός και χρησιμοποιείται ο ενδιάμεσος καθρέφτης αντί για την πόλη αντικειμένων για απεικόνιση, η μεγέθυνση μπορεί να μειωθεί σε περίπου 100-300 συν και να ληφθούν εικόνες με μεγαλύτερο οπτικό πεδίο.
