Υπέρυθρη μικροσκοπία στη βιομηχανία ηλεκτρονικών στην εφαρμογή μικροσκοπικών συσκευών
I. Κατεύθυνση Εφαρμογής: Υπέρυθρη μικροσκοπία σε δοκιμές θερμοκρασίας μικροσκοπικών συσκευών ημιαγωγών
II. Ιστορικό Εισαγωγή:
Με την ανάπτυξη της νανοτεχνολογίας, η μικρογραφία της από πάνω προς τα κάτω χρησιμοποιείται όλο και περισσότερο στον τομέα της τεχνολογίας ημιαγωγών. Στο παρελθόν, ονομάζαμε την τεχνολογία IC τεχνολογία "μικροηλεκτρονική", αυτό οφείλεται στο ότι το μέγεθος των τρανζίστορ είναι στην κλίμακα micron (10-6 μέτρο). Ωστόσο, η τεχνολογία των ημιαγωγών προχωρά τόσο γρήγορα που κάθε δύο χρόνια προχωρά κατά μία γενιά και συρρικνώνεται στο μισό του αρχικού μεγέθους της, που είναι γνωστό ως νόμος του Μουρ. Πριν από περίπου 15 χρόνια, οι ημιαγωγοί άρχισαν να εισέρχονται στην εποχή του υπομικρού ή λιγότερο του μικρού, ακολουθούμενος από την εποχή του βαθιού υπομικρού ή πολύ μικρότερου του μικρού. Μέχρι το 2001, τα τρανζίστορ ήταν ακόμη μικρότερα από 0,1 micron ή λιγότερο από 100 νανόμετρα. Ως εκ τούτου, είναι η εποχή της νανοηλεκτρονικής και τα περισσότερα από τα μελλοντικά IC θα κατασκευαστούν από τη νανοτεχνολογία.
Τρίτον, οι τεχνικές απαιτήσεις:
Επί του παρόντος, η κύρια μορφή βλάβης της ηλεκτρονικής συσκευής είναι η θερμική αστοχία. Σύμφωνα με στατιστικά στοιχεία, το 55% της βλάβης ηλεκτρονικών συσκευών προκαλείται από τη θερμοκρασία που υπερβαίνει την καθορισμένη τιμή και με την αύξηση της θερμοκρασίας, το ποσοστό αστοχίας των ηλεκτρονικών συσκευών αυξάνεται εκθετικά. Σε γενικές γραμμές, η αξιοπιστία λειτουργίας των ηλεκτρονικών εξαρτημάτων είναι εξαιρετικά ευαίσθητη στη θερμοκρασία, η θερμοκρασία της συσκευής στο επίπεδο 70-80 βαθμού κάθε αύξησης 1 βαθμού, η αξιοπιστία θα πέσει κατά 5%. Επομένως, υπάρχει ανάγκη για γρήγορη και αξιόπιστη ανίχνευση θερμοκρασίας των συσκευών. Καθώς το μέγεθος των συσκευών ημιαγωγών γίνεται όλο και μικρότερο, η ανάλυση θερμοκρασίας και η χωρική ανάλυση του εξοπλισμού ανίχνευσης θέτει υψηλότερες απαιτήσεις.
Τέταρτον, ο θερμικός χάρτης της τοποθεσίας λήψης (τοποθεσία: γνωστά ερευνητικά ινστιτούτα Μοντέλο: INNOMETE SI330)
