Εφαρμογή του υπέρυθρου μικροσκοπίου σε μικροσυσκευές στη βιομηχανία ηλεκτρονικών
1. Κατεύθυνση εφαρμογής: ο ρόλος του υπέρυθρου μικροσκοπίου στη δοκιμή θερμοκρασίας μικροσκοπικών συσκευών ημιαγωγών
2. Εισαγωγή στο ιστορικό:
Με την ανάπτυξη της νανοτεχνολογίας, η μέθοδος σμίκρυνσης από πάνω προς τα κάτω εφαρμόζεται όλο και περισσότερο στον τομέα της τεχνολογίας ημιαγωγών. Παλαιότερα ονομάζαμε την τεχνολογία IC τεχνολογία "μικροηλεκτρονική", επειδή το μέγεθος των τρανζίστορ είναι στο επίπεδο των μικρών (10-6 μέτρου). Ωστόσο, η τεχνολογία των ημιαγωγών αναπτύσσεται πολύ γρήγορα. Κάθε δύο χρόνια, μια γενιά θα βελτιώνεται και το μέγεθος θα μειώνεται στο μισό του αρχικού μεγέθους. Αυτός είναι ο περίφημος νόμος του Μουρ. Πριν από περίπου 15 χρόνια, οι ημιαγωγοί άρχισαν να εισέρχονται στην εποχή των υπομικρών, η οποία είναι μικρότερη από την εποχή των μικρών, και στη συνέχεια προχώρησαν βαθύτερα στην εποχή των υπομικρών, η οποία ήταν πολύ μικρότερη από την εποχή των μικρών. Μέχρι το 2001, τα τρανζίστορ ήταν ακόμη μικρότερα από 0,1 micron ή 100 νανόμετρα. Επομένως, είναι η εποχή της νανοηλεκτρονικής και τα περισσότερα μελλοντικά IC θα είναι κατασκευασμένα από νανοτεχνολογία.
3. Τεχνικές απαιτήσεις:
Επί του παρόντος, ο κύριος τρόπος αστοχίας των ηλεκτρονικών συσκευών είναι η θερμική αστοχία. Σύμφωνα με στατιστικά στοιχεία, το 55 τοις εκατό των αστοχιών ηλεκτρονικών συσκευών προκαλούνται από τη θερμοκρασία που υπερβαίνει την καθορισμένη τιμή. Καθώς η θερμοκρασία αυξάνεται, το ποσοστό αστοχίας των ηλεκτρονικών συσκευών αυξάνεται εκθετικά. Σε γενικές γραμμές, η αξιοπιστία λειτουργίας των ηλεκτρονικών εξαρτημάτων είναι εξαιρετικά ευαίσθητη στη θερμοκρασία και η αξιοπιστία θα πέφτει κατά 5 τοις εκατό κάθε φορά που η θερμοκρασία της συσκευής αυξάνεται κατά 1 βαθμό στο επίπεδο των 70-80 βαθμών. Επομένως, είναι απαραίτητο να ανιχνεύσετε τη θερμοκρασία της συσκευής γρήγορα και αξιόπιστα. Καθώς το μέγεθος των συσκευών ημιαγωγών γίνεται όλο και μικρότερο, τίθενται υψηλότερες απαιτήσεις για την ανάλυση θερμοκρασίας και τη χωρική ανάλυση του εξοπλισμού ανίχνευσης.
4. Χάρτης θερμότητας βολής επί τόπου
