Εφαρμογές Συνεστιακών Μικροσκοπίων στη Βιομηχανία Ημιαγωγών
Στη διαδικασία παραγωγής ημιαγωγών μεγάλης-κλίμακας, είναι απαραίτητο να τοποθετηθούν ολοκληρωμένα κυκλώματα στη γκοφρέτα, να χωριστούν σε διάφορες μονάδες και, τέλος, να συσκευαστούν και να συγκολληθούν. Επομένως, ο ακριβής έλεγχος και η μέτρηση του μεγέθους του αυλακιού κοπής γκοφρέτας είναι ένας κρίσιμος κρίκος στη διαδικασία παραγωγής.
Το ομοεστιακό μικροσκόπιο είναι μια μικροσκοπική συσκευή ανίχνευσης που κυκλοφόρησε από την Zhongtu Instrument, η οποία χρησιμοποιείται ευρέως στις διαδικασίες κατασκευής και συσκευασίας ημιαγωγών. Μπορεί να εκτελεί-σάρωση χωρίς επαφή και να ανακατασκευάσει την τρισδιάστατη-μορφολογία των επιφανειακών χαρακτηριστικών με πολύπλοκα σχήματα και απότομες αυλακώσεις κοπής με λέιζερ.
Το ομοεστιακό μικροσκόπιο έχει εξαιρετική οπτική ανάλυση και μέσω ενός καθαρού συστήματος απεικόνισης, μπορεί να παρατηρήσει λεπτομερώς τα χαρακτηριστικά της επιφάνειας του πλακιδίου, όπως αν υπάρχουν ελαττώματα όπως σπάσιμο της άκρης και γρατσουνιές στην επιφάνεια του πλακιδίου. Ο ηλεκτρικός πύργος μπορεί να εναλλάσσεται αυτόματα μεταξύ διαφορετικών αντικειμενικών μεγεθύνσεων και το λογισμικό καταγράφει αυτόματα τις άκρες χαρακτηριστικών για γρήγορη μέτρηση μεγέθους δύο-διαστάσεων, με αποτέλεσμα να εντοπίζει και να ελέγχει πιο αποτελεσματικά την επιφάνεια του πλακιδίου.
Στη διαδικασία κοπής πλακών με λέιζερ, απαιτείται ακριβής τοποθέτηση για να διασφαλιστεί ότι οι αυλακώσεις μπορούν να κοπούν κατά μήκος του σωστού περιγράμματος στη γκοφρέτα. Η ποιότητα της κατάτμησης του πλακιδίου συνήθως μετριέται από το βάθος και το πλάτος των αυλακώσεων κοπής. Το ομοεστιακό μικροσκόπιο της σειράς VT6000, που βασίζεται στην ομοεστιακή τεχνολογία και είναι εξοπλισμένο με μονάδες σάρωσης υψηλής-ταχύτητας, διαθέτει επαγγελματικό λογισμικό ανάλυσης με λειτουργίες πολλαπλών περιοχών και αυτόματης μέτρησης. Μπορεί να ανακατασκευάσει γρήγορα το τρισδιάστατο περίγραμμα της αύλακας λέιζερ του δοκιμασμένου πλακιδίου-και να εκτελέσει ανάλυση πολλαπλών προφίλ για να λάβει πληροφορίες για το βάθος και το πλάτος του καναλιού της διατομής-.
