Σε σύγκριση με τα παραδοσιακά οπτικά μικροσκόπια και τα ηλεκτρονικά μικροσκόπια, ποιοι παράγοντες περιορίζουν την ικανότητα διαχωρισμού των μικροσκοπίων ατομικής δύναμης;
Η διακριτική ισχύς των παραδοσιακών οπτικών μικροσκοπίων περιορίζεται από το όριο περίθλασης του φωτός και η ελάχιστη απόσταση ανάλυσής του είναι το μισό του μήκους κύματος φωτός του. Η ισχύς ανάλυσης του ηλεκτρονικού μικροσκοπίου περιορίζεται επίσης από το όριο περίθλασης και η ελάχιστη ισχύς διάλυσής του είναι το μισό του μήκους κύματος του ηλεκτρονίου de Broglie, επομένως το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο μπορεί να επιτύχει μεγαλύτερη ισχύ ανάλυσης από το παραδοσιακό οπτικό μικροσκόπιο.
Η ικανότητα διαχωρισμού του μικροσκοπίου ατομικής δύναμης εξαρτάται κυρίως από: το μέγεθος του άκρου του ανιχνευτή. ο συντελεστής ελαστικότητας του μικροπροβολέα, όσο χαμηλότερος είναι ο συντελεστής ελαστικότητας, τόσο πιο ευαίσθητο είναι το μικροσκόπιο ατομικής δύναμης. ο λόγος του μήκους του προβόλου προς το μήκος του φωτός λέιζερ· την ευαισθησία του ανιχνευτή PSD στη θέση του σημείου. Για μια εικόνα με συγκεκριμένη ανάλυση, όσο μικρότερο είναι το εύρος σάρωσης, τόσο λεπτότερη είναι η τοπογραφία της επιφάνειας που λαμβάνεται.
