Πόσα νανόμετρα μπορεί να δει ένα ομοεστιακό μικροσκόπιο;
Ο στόχος της επιστήμης των υλικών είναι να μελετήσει την επίδραση της δομής της επιφάνειας ενός υλικού στις επιφανειακές του ιδιότητες. Επομένως, η ανάλυση της τοπογραφίας της επιφάνειας σε υψηλή ανάλυση είναι σημαντική για τον προσδιορισμό των παραμέτρων που σχετίζονται με την τραχύτητα της επιφάνειας, τις ανακλαστικές ιδιότητες, τις τριβολογικές ιδιότητες και την ποιότητα της επιφάνειας. Οι συνεστιακές τεχνικές είναι ικανές να μετρούν υλικά με μια ποικιλία επιφανειακών ανακλαστικών ιδιοτήτων και να λαμβάνουν αποτελεσματικά δεδομένα μέτρησης.
Το ομοεστιακό μικροσκόπιο λέιζερ, με βάση την αρχή της ομοεστιακής τεχνολογίας, είναι ένα όργανο επιθεώρησης για μετρήσεις μικρο- και νανοκλίμακας στις επιφάνειες διαφόρων συσκευών και υλικών ακριβείας. Η υψηλή ανάλυση μέτρησης φτάνει τα 0,5 nm.
Εφαρμογές
1.MEMS
Μέτρηση διαστάσεων συστατικών micron και sub-micron, παρατήρηση μορφολογίας επιφάνειας μετά από διάφορες διεργασίες (ανάπτυξη, χάραξη, επιμετάλλωση, CVD, PVD, CMP, κ.λπ.), ανάλυση ελαττωμάτων.
2.Μηχανικά εξαρτήματα ακριβείας, ηλεκτρονικές συσκευές
Μέτρηση διαστάσεων εξαρτημάτων micron και sub-micron, παρατήρηση μορφολογίας επιφάνειας μετά από διάφορες διεργασίες επιφανειακής επεξεργασίας, διεργασίες συγκόλλησης, ανάλυση ελαττωμάτων, ανάλυση σωματιδίων.
3.Ημιαγωγός/LCD
Παρατήρηση τοπογραφίας επιφάνειας μετά από διάφορες διεργασίες (ανάπτυξη, χάραξη, επιμετάλλωση, CVD, PVD, CMP, κ.λπ.), ανάλυση ελαττωμάτων Μέτρηση πλάτη γραμμής χωρίς επαφή, βάθη βημάτων κ.λπ.
4. Τριβολογία, διάβρωση και άλλη μηχανική επιφανειών
Μέτρηση όγκου σημαδιών τριβής, μέτρηση τραχύτητας, τοπογραφία επιφάνειας, διάβρωση και τοπογραφία επιφάνειας μετά από μηχανική επιφανειών υπομικρών.
Τεχνικές προδιαγραφές
Μοντέλο: VT6100
Εύρος διαδρομής: 100*100*100mm
Εύρος οπτικού πεδίου: 120×120 μm~1,2×1,2 mm
Επαναληψιμότητα μέτρησης ύψους (1σ): 12nm
Ακρίβεια μέτρησης ύψους: ± (0.2+L/100) μm
Ανάλυση μέτρησης ύψους: 0,5 nm
Επαναληψιμότητα μέτρησης πλάτους (1σ): 40nm
Ακρίβεια μέτρησης πλάτους: ± 2%
Ανάλυση μέτρησης πλάτους: 1nm
