Όνομα και λειτουργία κάθε μέρους του ομοεστιακού μικροσκοπίου
Με βάση την αρχή της ομοεστιακής τεχνολογίας, το ομοεστιακό μικροσκόπιο χρησιμοποιείται για τη μέτρηση της επιφάνειας διαφόρων συσκευών και υλικών ακριβείας σε μικρο και νανο επίπεδο και μπορεί να απεικονίσει άμεσα τη μορφολογία της επιφάνειας των δειγμάτων υλικού, με πλευρική ανάλυση έως και 1 nm και ανάλυση άξονα Z έως 0,5 nm. Δεν μπορεί μόνο να μετρήσει τη μορφολογία της επιφάνειας του δείγματος και να παρέχει τη λειτουργία χαρακτηρισμού της μικροσκοπικής μορφολογίας της μέτρησης μεγέθους προφίλ, αλλά και να παρέχει πέντε κύριες αναλυτικές λειτουργίες, όπως ανάλυση τραχύτητας, ανάλυση γεωμετρικών προφίλ, δομική ανάλυση, ανάλυση συχνότητας και λειτουργική ανάλυση. Παρέχονται επίσης ανάλυση τραχύτητας, ανάλυση γεωμετρικών προφίλ, δομική ανάλυση, ανάλυση συχνότητας και λειτουργική ανάλυση.
Η ανάλυση τραχύτητας περιλαμβάνει ανάλυση πλήρους παραμέτρου σύμφωνα με την τραχύτητα γραμμής ISO4287, την τραχύτητα επιφάνειας ISO25178, την επιπεδότητα ISO12781 κ.λπ. Η ανάλυση γεωμετρικού περιγράμματος περιλαμβάνει μετρήσεις ύψους βήματος, απόστασης, γωνίας, καμπυλότητας και άλλων χαρακτηριστικών και αξιολόγηση ευθύτητας, στρογγυλότητας και ανοχής μορφής. Η δομική ανάλυση περιλαμβάνει τον όγκο των οπών και το βάθος της γούρνας κ.λπ. Η ανάλυση συχνότητας περιλαμβάνει την κατεύθυνση του κόκκου και την ανάλυση φάσματος. Η λειτουργική ανάλυση περιλαμβάνει την ανάλυση του φάσματος κατεύθυνσης και συχνότητας. Η ανάλυση συχνότητας περιλαμβάνει την ανάλυση του φάσματος κατεύθυνσης και συχνότητας. και λειτουργική ανάλυση είναι επίσης διαθέσιμη. Η ανάλυση συχνότητας περιλαμβάνει ανάλυση κατεύθυνσης υφής και φάσματος. Η λειτουργική ανάλυση περιλαμβάνει παραμέτρους SK και παραμέτρους όγκου.
Η δομή του ομοεστιακού μικροσκοπίου αποτελείται κυρίως από: μικροσκόπιο, πηγή φωτός λέιζερ, συσκευή σάρωσης, ανιχνευτή, σύστημα υπολογιστή (συμπεριλαμβανομένης της λήψης δεδομένων, επεξεργασίας, μετατροπής, λογισμικού εφαρμογής), συσκευή εξόδου εικόνας, οπτική συσκευή και ομοεστιακό σύστημα.
Στα κεραμικά, τα μέταλλα, τους ημιαγωγούς, τα τσιπ και άλλα υλικά επιστήμης και στον τομέα επιθεώρησης παραγωγής, το ομοεστιακό μικροσκόπιο έχει ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών. Ομοεστιακό μικροσκόπιο που βασίζεται στην αρχή της ομοεστιακής μικροσκοπίας, σάρωσης χωρίς επαφή της επιφάνειας της συσκευής και δημιουργίας τρισδιάστατης εικόνας επιφάνειας, μέσω του λογισμικού συστήματος στην επιφάνεια της συσκευής επεξεργασία και ανάλυση δεδομένων εικόνας 3D, έτσι ώστε να ληφθεί το 2D, 3D παραμέτρους που αντικατοπτρίζουν την ποιότητα της επιφάνειας της συσκευής, για να επιτευχθεί η τρισδιάστατη μέτρηση της μορφολογίας της επιφάνειας της συσκευής.
Μπορεί να χρησιμοποιηθεί ευρέως στην επιθεώρηση διαδικασίας κατασκευής και συσκευασίας ημιαγωγών, ηλεκτρονική οθόνη γυαλιού 3C και τα εξαρτήματά της ακριβείας, οπτική επεξεργασία, κατασκευή μικρο-νανο-υλικών, εξαρτήματα αυτοκινήτων, συσκευές MEMS και άλλες μηχανουργικές μηχανές υπερακρίβειας και αεροδιαστημική βιομηχανία, ινστιτούτα επιστημονικής έρευνας και άλλα πεδία. Μετρήστε και αναλύστε το προφίλ επιφάνειας, ελαττώματα επιφάνειας, φθορά, διάβρωση, επιπεδότητα, τραχύτητα, αυλάκωση, διάκενο πόρων, ύψος βήματος, παραμόρφωση κάμψης, επεξεργασία και άλλα χαρακτηριστικά επιφάνειας διαφόρων προϊόντων, εξαρτημάτων και επιφανειών υλικού.
