Ταχεία επιθεώρηση ημιαγωγών χρησιμοποιώντας διαφορετικές μεθόδους παρατήρησης μικροσκοπίου
Η επιθεώρηση ημιαγωγών των χαραγμένων πλακιδίων και των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων (ICS) κατά τη διάρκεια της παραγωγικής διαδικασίας είναι ζωτικής σημασίας για τον εντοπισμό και τη μείωση των ελαττωμάτων. Προκειμένου να βελτιωθεί η αποτελεσματικότητα του ελέγχου ποιότητας στο στάδιο της πρώιμης παραγωγής και να εξασφαλιστεί η αξιόπιστη απόδοση των ενσωματωμένων τσιπ κυκλώματος, οι λύσεις μικροσκοπίου θα πρέπει να συνδυάζονται με διαφορετικές μεθόδους παρατήρησης για να παρέχουν πλήρεις και ακριβείς πληροφορίες σχετικά με διαφορετικά ελαττώματα. Οι μέθοδοι παρατήρησης που εισάγονται εδώ περιλαμβάνουν φωτεινό πεδίο, σκοτεινό πεδίο, DIC, υπεριώδη, υπεριώδη, λοξό φωτισμό και υπέρυθρη ακτινοβολία. Είναι ενσωματωμένα σε μικροσκόπια για την ανίχνευση και την ανάπτυξη πλακιδίων και ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.
Ο τρόπος με τον οποίο η βιομηχανία παραγωγής ημιαγωγών επωφελείται από μικροσκόπια
Οι λύσεις μικροσκοπίου διαδραματίζουν σημαντικό ρόλο στην αποτελεσματική και αξιόπιστη ανίχνευση, τον ποιοτικό έλεγχο (QC), την ανάλυση σφάλματος (FA) και την έρευνα και την ανάπτυξη (Ε & Α) στη βιομηχανία παραγωγής ημιαγωγών.
Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, μπορούν να εμφανιστούν διάφορα είδη ελαττωμάτων σε διαφορετικά βήματα, τα οποία μπορούν να επηρεάσουν την κανονική λειτουργία του εξοπλισμού. Όσο νωρίτερα ανακαλύπτονται αυτά τα ελαττώματα, τόσο το καλύτερο. Αυτά τα ελαττώματα μπορεί να προκληθούν από τυχαία κατανεμημένα σωματίδια σκόνης στο δίσκο (τυχαία ελαττώματα) ή από γρατζουνιές, αποσύνδεση και υπόλειμμα επικαλύψεων και φωτοανθεραπευτή που προκαλείται από συνθήκες επεξεργασίας (όπως κατά τη διάρκεια της χάραξης) και μπορεί να εμφανιστούν σε συγκεκριμένες περιοχές του δίσκου. Λόγω του μικρού μεγέθους του, τα μικροσκόπια είναι το προτιμώμενο εργαλείο για τον εντοπισμό τέτοιων ελαττωμάτων.
Ειδικά σε σύγκριση με τα βραδύτερα και πιο ακριβά μικροσκόπια όπως τα ηλεκτρονικά μικροσκόπια (EM), τα οπτικά μικροσκόπια (OM) έχουν πολλά πλεονεκτήματα. Λόγω της ευελιξίας και της ευκολίας χρήσης, τα οπτικά μικροσκόπια χρησιμοποιούνται συνήθως για ποιοτικές και ποσοτικές μελέτες ελαττωμάτων σε γυμνές γκοφρέτες και χαραγμένες/επεξεργασμένες γκοφρέτες, καθώς και στις διαδικασίες συναρμολόγησης και συσκευασίας των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων (ICS).
Διαφορετικές μέθοδοι παρατήρησης οπτικής μικροσκοπίας, όπως το φωτεινό πεδίο (BF), το σκοτεινό πεδίο (DF), η αντίθεση διαφορικής παρεμβολής (DIC), η πόλωση (POL), η υπεριώδη και ενσωματωμένη διαδικασία από τα chip asspection και η υπερύθρων (IR).
