Ποιοι είναι οι παράγοντες που επηρεάζουν την ανάλυση ενός ηλεκτρονικού μικροσκοπίου μετάδοσης;
Α. Διάμετρος κηλίδας προσπίπτουσας δέσμης ηλεκτρονίων: το όριο της ικανότητας διαχωρισμού του SEM. Γενικά, η ελάχιστη διάμετρος κηλίδας του πιστολιού ηλεκτρονίων θερμής καθόδου μπορεί να μειωθεί στα 6 nm και το πιστόλι ηλεκτρονίων εκπομπής πεδίου μπορεί να κάνει τη διάμετρο κηλίδας μικρότερη από 3 nm.
Β. Επίδραση διαστολής της προσπίπτουσας δέσμης ηλεκτρονίων στο δείγμα: ο βαθμός διάχυσης εξαρτάται από την ενέργεια ηλεκτρονίων προσπίπτουσας δέσμης και τον ατομικό αριθμό του δείγματος. Όσο μεγαλύτερη είναι η ενέργεια της προσπίπτουσας δέσμης και όσο μικρότερος ο ατομικός αριθμός του δείγματος, τόσο μεγαλύτερος είναι ο όγκος της δέσμης ηλεκτρονίων, τόσο μεγαλύτερη είναι η περιοχή του σήματος που παράγεται με τη διάχυση της δέσμης ηλεκτρονίων, μειώνοντας έτσι την ανάλυση.
Γ. μέθοδος απεικόνισης και το σήμα διαμόρφωσης που χρησιμοποιείται: όταν το δευτερεύον σήμα διαμόρφωσης ηλεκτρονίων, λόγω της χαμηλής του ενέργειας (λιγότερο από 50 eV), η μέση ελεύθερη εμβέλεια είναι μικρή (10 ~ 100 nm περίπου), μόνο στο επιφανειακό στρώμα του το εύρος βάθους 50 ~ 100 nm των δευτερευόντων ηλεκτρονίων μπορεί να διαφύγει από την επιφάνεια του δείγματος, η εμφάνιση του αριθμού σκέδασης είναι πολύ περιορισμένη, βασικά δεν επεκτάθηκε πλευρικά, επομένως η ανάλυση της εικόνας του δευτερεύοντος ηλεκτρονίου είναι περίπου ίση με τη δέσμη διάμετρος κηλίδας. Όταν τα οπισθοσκεδασμένα ηλεκτρόνια χρησιμοποιούνται ως σήμα διαμόρφωσης, τα οπισθοσκεδασμένα ηλεκτρόνια μπορούν να διαφύγουν από τη βαθύτερη περιοχή του δείγματος (περίπου το 30% του ενεργού βάθους) λόγω της υψηλής ενέργειας και της ικανότητας διείσδυσής τους. Σε αυτό το εύρος βάθους, τα προσπίπτοντα ηλεκτρόνια έχουν αρκετά ευρεία πλευρική διαστολή, επομένως η ανάλυση εικόνας του οπισθοσκεδασμένου ηλεκτρονίου είναι χαμηλότερη από τη δευτερεύουσα εικόνα ηλεκτρονίων, γενικά στα 500 ~ 2000nm περίπου. Εάν η απορρόφηση ηλεκτρονίων, ακτίνων Χ, καθοδωφωταύγειας, αγωγιμότητας ανίχνευσης δέσμης ή δυναμικού ως σήμα διαμόρφωσης άλλων τρόπων λειτουργίας, λόγω του σήματος από ολόκληρη την περιοχή σκέδασης δέσμης ηλεκτρονίων, η προκύπτουσα εικόνα σάρωσης της ανάλυσης είναι σχετικά χαμηλή, γενικά σε l,000 nm ή l.000 nm ή περισσότερο από ποικίλλει.
