Ποιες είναι οι τέσσερις συνήθως χρησιμοποιούμενες μέθοδοι ανίχνευσης επιπέδου;
1. Μέθοδος μέτρησης με αισθητήρα
Μόνο ένα σετ μετρητών αισθητήρων που μπορούν να μεταφερθούν μπορούν να χρησιμοποιηθούν για την πρόχειρη μέτρηση της επιπεδότητας οποιαδήποτε στιγμή και οπουδήποτε. Επί του παρόντος, πολλά εργοστάσια εξακολουθούν να χρησιμοποιούν αυτή τη μέθοδο για ανίχνευση. Λόγω της χαμηλής του ακρίβειας, το λεπτότερο συμβατικό μετρητή αισθητήρα είναι 10um, η αποτελεσματικότητα ανίχνευσης είναι χαμηλή, το αποτέλεσμα δεν είναι αρκετά ολοκληρωμένο και μπορεί να ανιχνευθεί μόνο η άκρη του εξαρτήματος.
2. Μέθοδος στάθμης υγρού
Με βάση την αρχή λειτουργίας του συνδετήρα, είναι κατάλληλος για τη μέτρηση της επιπεδότητας συνεχών ή ασυνεχών μεγάλων επιπέδων, αλλά χρειάζεται πολύς χρόνος για τη μέτρηση και είναι ευαίσθητος στη θερμοκρασία, επομένως είναι κατάλληλος μόνο για επίπεδα με χαμηλή ακρίβεια μέτρησης.
3. Μέθοδος μέτρησης συμβολόμετρου επιπέδου λέιζερ
Η πιο τυπική χρήση είναι η συμβολομετρία επίπεδων κρυστάλλων. Αλλά χρησιμοποιείται κυρίως για τη μέτρηση λείων μικρών επιπέδων, όπως η επιφάνεια μέτρησης του μικρομέτρου, η επιφάνεια εργασίας του μετρητή και ο οπτικός φακός.
4. Μέθοδος μέτρησης μετρητή στάθμης
Χρησιμοποιείται ευρέως στη μέτρηση ευθύτητας και επιπεδότητας της επιφάνειας του τεμαχίου εργασίας. Υψηλή ακρίβεια μέτρησης, καλή σταθερότητα, μικρό μέγεθος, εύκολο στη μεταφορά. Ωστόσο, όταν χρησιμοποιείται αυτή η μέθοδος για τη μέτρηση, είναι απαραίτητο να μετακινείτε επανειλημμένα τη θέση του οργάνου και να καταγράφετε τα δεδομένα κάθε σημείου μέτρησης, κάτι που είναι χρονοβόρο, επίπονο, μεγάλο χρονικό διάστημα προσαρμογής και η διαδικασία επεξεργασίας δεδομένων είναι επίπονη.
5. Μέθοδος μέτρησης μετρητή
Τυπικές εφαρμογές είναι τα μικρόμετρα πλακών και τα όργανα τριών συντεταγμένων, μεταξύ των οποίων τα όργανα τριών συντεταγμένων είναι τα πιο ευρέως χρησιμοποιούμενα. Κατά τη μέτρηση, ο δείκτης μετακινείται στο δείγμα που πρόκειται να δοκιμαστεί και τα δεδομένα κάθε σημείου μέτρησης σε σχέση με την αναφορά μέτρησης μετρώνται σύμφωνα με τα επιλεγμένα σημεία διάταξης και, στη συνέχεια, το σφάλμα επιπεδότητας αξιολογείται μέσω επεξεργασίας δεδομένων. Αλλά η απόδοσή του είναι χαμηλή, συνήθως ένα δείγμα διαρκεί αρκετά λεπτά, μακριά από την προσδοκία των 15 ppm.
