Τι μπορεί να κάνει η ομοεστιακή μικροσκοπία;
Το ομοεστιακό μικροσκόπιο χρησιμοποιεί κυρίως τεχνολογία απεικόνισης 3D σύλληψης, η οποία επιτυγχάνει ψηφιακή απεικόνιση μέσω λέιζερ υψηλής έντασης μέσω οπών ψηφιακής κάμερας και έχει ισχυρή ικανότητα κατακόρυφης ανάλυσης βάθους.
Αρχές ομοεστιακής μικροσκοπικής απεικόνισης
Η συσκευή ομοεστιακού μικροσκοπίου είναι μια συσκευή που τοποθετεί δύο μικρές οπές στη συζευγμένη επιφάνεια του εστιακού επιπέδου του αντικειμένου που μετράται, μία μπροστά από την πηγή φωτός και η άλλη μπροστά από τον ανιχνευτή.
Σχηματικό διάγραμμα οπτικής διαδρομής ομοεστιακού μικροσκοπίου
Η λαμβανόμενη εικόνα συλλαμβάνεται εστιάζοντας το φως από ένα εστιακό επίπεδο μέσω μιας ψηφιακής κάμερας με οπή καρφίτσας. Η συσσωρευμένη ακολουθία εικόνων από διαφορετικά εστιακά επίπεδα χρησιμοποιείται για τη μεταγλώττιση της πλήρους τρισδιάστατης εικόνας χρησιμοποιώντας λογισμικό.
Οι λεπτομέρειες μεγεθυσμένης εικόνας που εμφανίζονται από συστήματα ομοεστιακής μικροσκοπίας είναι υψηλότερες από εκείνες των συμβατικών οπτικών μικροσκοπίων. Τα παραδοσιακά οπτικά μικροσκόπια είναι συχνά εξοπλισμένα με κάμερες CCD με χαμηλότερη ευαισθησία στη λήψη εικόνων. Για φως χαμηλού φωτισμού, όπως ο φθορισμός, δεν μπορεί να ανιχνευθεί. Ωστόσο, το στοιχείο ανίχνευσης που χρησιμοποιείται στα συστήματα ομοεστιακής μικροσκοπίας είναι ένας πολύ ευαίσθητος σωλήνας φωτοπολλαπλασιαστή, ο οποίος μπορεί να παρουσιάσει υψηλή ευαισθησία σε ασθενή σήματα φθορισμού. Μπορεί επίσης να εξαλείψει τον θόρυβο του περιβάλλοντος μειώνοντας το εύρος διέγερσης και χρησιμοποιώντας οπτικό τεμαχισμό.
Υπό τις ίδιες συνθήκες αντικειμενικής μεγέθυνσης, η ομοεστιακή μικροσκοπία εμφανίζει σαφέστερες και λεπτότερες λεπτομέρειες μορφολογίας εικόνας, με υψηλότερη πλευρική ανάλυση. Ακριβώς όπως ένα αιχμηρό εργαλείο για μικρο/νανοανίχνευση, η ομοεστιακή μικροσκοπία έχει πολλές διαφορές από τα συμβολόμετρα λευκού φωτός. Αν χρησιμοποιήσουμε μία λέξη για να το περιγράψουμε, τότε τα συμβολόμετρα λευκού φωτός είναι «κείμενο», ενώ η ομοεστιακή μικροσκοπία είναι «πολεμική». Το White Light υπερέχει στην ανίχνευση εξαιρετικά λειών επιφανειών σε επίπεδο υπο νανομέτρων και επιδιώκει ακριβείς τιμές ανίχνευσης. Ωστόσο, η ομοεστιακή απεικόνιση είναι καλή στον εντοπισμό τραχιών περιγραμμάτων σε μικρο- και νανο επίπεδο. Αν και είναι ελαφρώς κατώτερο σε ανάλυση ανίχνευσης, μπορεί να παρέχει πολύχρωμες αληθινές έγχρωμες εικόνες για εύκολη παρατήρηση.
Το ομοεστιακό μικροσκόπιο της σειράς VT6000 βασίζεται σε ομοεστιακή τεχνολογία, σε συνδυασμό με μονάδες σάρωσης άξονα Z ακριβείας, αλγόριθμους μοντελοποίησης 3D κ.λπ. Μπορεί να μετρήσει την τραχύτητα, την επιπεδότητα, το μικρογεωμετρικό προφίλ, την καμπυλότητα και άλλες παραμέτρους διαφόρων επιφανειών αντικειμένων, από λείες έως τραχιά, χαμηλής ανακλαστικότητας έως υψηλής ανακλαστικότητας και τεμάχια κατεργασίας σε επίπεδο νανομέτρων έως μικρομέτρου. Μπορεί να μετρήσει και να αναλύσει τα επιφανειακά μορφολογικά χαρακτηριστικά διαφόρων προϊόντων, εξαρτημάτων και υλικών, όπως προφίλ επιφάνειας, επιφανειακά ελαττώματα, φθορά, διάβρωση, επιπεδότητα, τραχύτητα, κυματισμό, κενά πόρων, ύψος βήματος, παραμόρφωση κάμψης και συνθήκες επεξεργασίας.






