Ανάλυση με χρήση οπτικού μικροσκοπίου (OM)
Τεχνικές αρχές
Η αρχή απεικόνισης ενός οπτικού μικροσκοπίου είναι να χρησιμοποιεί ορατό φως για να φωτίσει την επιφάνεια ενός δοκιμίου για να προκαλέσει τοπική σκέδαση ή ανάκλαση για να σχηματίσει διαφορετικές αντιθέσεις. Ωστόσο, επειδή το μήκος κύματος του ορατού φωτός είναι τόσο υψηλό όσο {{0}} angstroms, η ανάλυση (ή ο ρυθμός διάκρισης, η ενέργεια ανάλυσης) του συστήματος είναι Αναφέρεται στη μικρότερη απόσταση που μπορούν να διακριθούν δύο σημεία), είναι φυσικά το χειρότερο. Υπό κανονική λειτουργία, δεδομένου ότι το ποσοστό διάκρισης με γυμνό μάτι είναι μόνο 0,2 mm, όταν η βέλτιστη ανάλυση του οπτικού μικροσκοπίου είναι μόνο 0,2 um, η θεωρητική μέγιστη μεγέθυνση είναι μόνο 1000 Είναι το μεγαλύτερο σύστημα απεικόνισης, που δείχνει ότι οι παρατηρήσεις με οπτικά μικροσκόπια μπορούν στην πραγματικότητα να παρέχουν πολλές προκαταρκτικές δομικές πληροφορίες.
Τύπος μηχανής
Αναλυτικές εφαρμογές
Αν και η μεγέθυνση και η ανάλυση των οπτικών μικροσκοπίων δεν μπορεί να καλύψει τις ανάγκες επιφανειακής παρατήρησης πολλών υλικών, εξακολουθούν να χρησιμοποιούνται ευρέως στις ακόλουθες εφαρμογές, όπως:
Παρατήρηση της δομής της διατομής του εξαρτήματος.
Επίπεδη καθυστερημένη ανάλυση και παρατήρηση δομής.
Παρατήρηση Ελεύθερης Ζώνης Κατακρημνισμάτων;
Παρατήρηση κακής ευθυγράμμισης και υπερβολικής χάραξης (Overetch) βαθουλώματα.
Έρευνα για Βλάβες Οξείδωσης Ενισχυμένης Στοίβαξης (OSF) κ.λπ.
Ποια είναι η μέγιστη μεγέθυνση ενός οπτικού μικροσκοπίου;
Η μεγέθυνση του οπτικού μικροσκοπίου βασίζεται κυρίως στον αντικειμενικό φακό για να μεγεθύνει πραγματικά το αντικείμενο και στον προσοφθάλμιο φακό για τη δευτερεύουσα μεγέθυνση της εικόνας που μεγεθύνεται από τον αντικειμενικό φακό. Ο αντικειμενικός φακός ενός οπτικού μικροσκοπίου μπορεί να ανέβει μόνο έως και 100 φορές και ο προσοφθάλμιος φακός μπορεί να ανέβει μόνο έως και 10 φορές.
16 φορές
Το μέγιστο προσοφθάλμιο είναι 20x. Επομένως, όταν ο αντικειμενικός φακός είναι 100 φορές και ο προσοφθάλμιος είναι 20 φορές, η συνολική μεγέθυνση μπορεί να φτάσει τις 2000 φορές. Αλλά το 2000 φορές είναι μόνο ένα αριθμητικό 2000 φορές, όχι μια πραγματική μεγέθυνση 2000 φορές. Για παράδειγμα, όταν ο προσοφθάλμιος φακός είναι 10x, ο αντικειμενικός φακός είναι 100x και η συνολική μεγέθυνση είναι 1000x, επειδή ο πραγματικός αντικειμενικός φακός μεγέθυνσης εξακολουθεί να είναι 100x, αλλά ο προσοφθάλμιος φακός αλλάζει από 10x σε 20x. Φαίνεται 2000 φορές
1000 φορές, διαφορά διπλάσια, αλλά στην πραγματικότητα είναι μόνο 10 φορές διαφορά.
