Οι εφαρμογές των ομοεστιακών μικροσκοπίων στη βιομηχανία ημιαγωγών
Στη διαδικασία παραγωγής ημιαγωγών μεγάλης-κλίμακας, είναι απαραίτητο να εναποτεθούν ολοκληρωμένα κυκλώματα στη γκοφρέτα, στη συνέχεια να χωριστούν σε διάφορες μονάδες και, τέλος, να συσκευαστούν και να συγκολληθούν. Επομένως, ο ακριβής έλεγχος και η μέτρηση του μεγέθους του αυλακιού κοπής γκοφρέτας είναι ένας κρίσιμος κρίκος στη διαδικασία παραγωγής.
Το ομοεστιακό μικροσκόπιο της σειράς VT6000 είναι ένας μικροσκοπικός εξοπλισμός επιθεώρησης που κυκλοφόρησε από την Zhongtu Instrument, ο οποίος χρησιμοποιείται ευρέως στις διαδικασίες κατασκευής και συσκευασίας ημιαγωγών. Μπορεί να εκτελεί-σάρωση χωρίς επαφή και να ανακατασκευάσει την τρισδιάστατη-μορφολογία των επιφανειακών χαρακτηριστικών με πολύπλοκα σχήματα και απότομες αυλακώσεις κοπής με λέιζερ.
Το ομοεστιακό μικροσκόπιο της σειράς VT6000 έχει εξαιρετική οπτική ανάλυση και μπορεί να παρατηρήσει λεπτομερώς τα χαρακτηριστικά της επιφάνειας του πλακιδίου μέσω ενός καθαρού συστήματος απεικόνισης, όπως η παρατήρηση αν υπάρχουν ελαττώματα όπως σπάσιμο της άκρης και γρατσουνιές στην επιφάνεια του πλακιδίου. Ο ηλεκτρικός πύργος μπορεί να εναλλάσσεται αυτόματα μεταξύ διαφορετικών αντικειμενικών μεγεθύνσεων και το λογισμικό καταγράφει αυτόματα τις άκρες χαρακτηριστικών για γρήγορη μέτρηση μεγέθους δύο-διαστάσεων, με αποτέλεσμα να εντοπίζει πιο αποτελεσματικά και να ελέγχει την ποιότητα της επιφάνειας του πλακιδίου.
Στη διαδικασία κοπής πλακών με λέιζερ, απαιτείται ακριβής τοποθέτηση για να διασφαλιστεί ότι οι αυλακώσεις μπορούν να κοπούν κατά μήκος του σωστού περιγράμματος στη γκοφρέτα. Η ποιότητα της κατάτμησης του πλακιδίου συνήθως μετριέται από το βάθος και το πλάτος των αυλακώσεων κοπής. Το ομοεστιακό μικροσκόπιο της σειράς VT6000, που βασίζεται στην ομοεστιακή τεχνολογία και είναι εξοπλισμένο με μονάδες σάρωσης υψηλής-ταχύτητας, διαθέτει επαγγελματικό λογισμικό ανάλυσης με λειτουργίες πολλαπλών περιοχών και αυτόματης μέτρησης. Μπορεί να ανακατασκευάσει γρήγορα το τρισδιάστατο περίγραμμα της αύλακας λέιζερ του δοκιμασμένου πλακιδίου-και να εκτελέσει ανάλυση πολλαπλών προφίλ για να λάβει πληροφορίες για το βάθος και το πλάτος του καναλιού της διατομής-.
